氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質量流量進行精密測量和控制；氣體質量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

1、結構

MFM由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器通道機殼等部件組成，只能對氣體質量流量進行測量；在MFM基礎上加上調節閥構成MFC，既可以對氣體質量流量進行測量，也能對流量進行控制。

2、工作原理

氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道，其中很小一部分進入傳感器內部的毛細鋼管。由于分流器通道的特殊結構，可以實現這兩部分氣體流量成正比例關系。傳感器經過預熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理測量這一小部分氣體的質量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經過放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設定信號進行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實現了MFC的功能。