Контроллер потока массы газа (Mass Flow Controller, сокращенно MFC) используется для точного измерения и контроля потока массы газа;? Расходомер массы газа (Mass Flow Meter, сокращенно MFM) используется для точного измерения потока массы газа.? Диффузия, окисление, экстенсивность молекулярного пучка, CVD, плазменное травление, распыление, ионное впрыскивание, а также оборудование для вакуумного покрытия, волоконно - оптическая плавка, устройство микрореакции, система газораспределения смеси, капиллярные измерения метеорологический хроматограф, оборудование для производства волокон оптического волокна.? И широко используется в нефтехимии, металлургии, фармацевтике и так далее.? Особенности: высокая точность, хорошее повторение.?

?1 Структура?

?MFM состоит из монтажных плат, датчиков, соединений входных и выходящих газопроводов, корпусов распределительных каналов и других компонентов, которые могут измерять только поток массы газа;? Добавление регулирующего клапана на основе MFM образует MFC, который измеряет и контролирует поток массы газа.?

?2 Принцип работы?

?После того, как поток воздуха попадает на улицу впускного трубопровода, большая часть потока проходит через шунт - канал, небольшая часть которого попадает в капиллярные стальные трубы внутри датчика.? Благодаря специальной структуре шунтирующего канала можно достичь положительной пропорции между этими двумя частями потока газа.? Датчик нагревается подогревом, температура внутри выше температуры входящего воздушного потока, и в это время массовый расход этой небольшой части газа измеряется с помощью принципов теплопередачи капиллярной стальной трубы и термометрии.? Поток газа, измеренный таким образом, может игнорировать влияние температуры и давления, вводит измеренный датчиком сигнал обнаружения потока в монтажную плату и после увеличения выводит функцию MFM.? Включите функцию автоматического управления PID - замкнутым контуром в монтажную плату и сравните измеренный датчиком сигнал обнаружения потока с заданным сигналом, предоставленным пользователем, в качестве основы для управления регуляторным клапаном, чтобы сигнал обнаружения потока был равен заданному сигналу, тем самым реализуя функцию MFC.