快速的控制響應不僅能確保設備迅速到達設定值，同時還能維持穩定的流量，以避免受到壓力波動的影響。一臺設備的響應速度對測量精度及穩定的流量控制有著至關重要的作用。 ??

物理時間常數 ??

物理時間常數用希臘字母Tau來表示，是現今為數不多的用來描述響應時間的標準之一，即：質量流量控制器到達設定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數底數的無理數，其值為2.72，所以1-1/e即為設定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標準，可能說明不了什么問題，因為余下的設定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。質量流量控制器用了7.4毫秒便到達了設定值的63.2%。 ??

任意指定設定值百分比變化區域 ??

不少質量流量控制器的技術參數采用設定值某一百分比區間內的變化來定義設備響應速度，比如：從設定值的10%到達90%所需要的時間。由于10%控制響應曲線變化大，由此而得出的控制響應速度可能無法與實際的控制性能等同。質量流量控制器用了11.4毫秒到達設定值，那段跨度大，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設定值10%到達90%所用的時間來定義設備響應速度的話，那么結論是6~7毫秒。

采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能好、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度， 另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。

氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則應該增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。氣體流量計投運一段時間后如發現過濾器壓降增高，應清洗過濾器或更換過濾介質，如發現流量計壓降升高，嚴禁突然放氣，以免沖壞表內齒輪。