1、 質量流量計，質量流量控制器的概念

質量流量計，即Mass Flow Meter (MFM)，是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。

簡單來說，質量流量計只測量不控制。而質量流量控制器，則帶有控制閥門，既可以測量也可以控制氣體流量大小。

2、 質量流量計，質量流量控制器的流量單位

氣體質量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和SLM (Standard Liter per Minute)?來表示，亦即每分鐘標準毫升、每分鐘標準升。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之處。

如果需要單位時間內流過的質量（如g/min），可以查閱標準狀態下的氣體密度，然后作乘法就可以了。

3、質量流量計／質量流量控制器的主要的優點

（1） 直接測量氣體的質量流量

熱式質量流量計直接測量流體質量流量，輸出質量流量信號，無需其他設備，如溫度測試儀和壓力表，也無需進行換算。

（2） 無可移動部分

本身無類似轉軸等的移動部件，增加了本身的可靠性，無需機械維護。

（3） 可以精確的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

（4） 測量控制的自動化

質量流量計／質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示，流量自動計量，數據自動記錄，計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。通常,?模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA,?數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口,?能非常方便地與計算機連接,?進行自動控制。

（5） 精確地定量控制流量

質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制等。

（6） 準確度高，重復性好

準確度可達±1%F.S（full scale）重復性為±0.25%F.S（full scale）

（7） 體積小巧，安裝方便，操作簡單

（8） 技術先進，符合發展潮流