B? ?i?u khi?n l?u l??ng khí (Mass Flow Controller vi?t t?t MFC) ???c s? d?ng ?? ?o l??ng và ki?m soát chính xác l?u l??ng kh?i c?a khí; ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i khí (Mass Flow Meter vi?t t?t MFM) ???c s? d?ng ?? th?c hi?n các phép ?o chính xác v? l?u l??ng kh?i c?a khí. khu?ch tán, oxy hóa, kéo dài chùm phan t?, CVD, kh?c plasma, phún x?, tiêm ion, c?ng nh? thi?t b? s?n chan kh?ng, nóng ch?y s?i quang, thi?t b? vi ph?n ?ng, h? th?ng phan ph?i khí h?n h?p, s?c ky khí t??ng ?o mao m?ch, thi?t b? s?n xu?t s?i d?n quang. Và ???c s? d?ng r?ng r?i trong hóa d?u, luy?n kim, d??c ph?m, v.v. Tính n?ng: ?? chính xác cao, ?? l?p l?i t?t.

1, C?u trúc

MFM bao g?m b?ng m?ch, c?m bi?n, ??u n?i ???ng ?ng d?n khí vào và ra, v? kênh chuy?n l?u và các thành ph?n khác, ch? có th? ?o l?u l??ng khí; Thêm van ?i?u ch?nh trên c? s? MFM t?o thành MFC cho phép ?o l?u l??ng khí và ki?m soát l?u l??ng.

2, Nguyên t?c làm vi?c

Sau khi lu?ng kh?ng khí ?i vào ???ng ?ng d?n khí, ph?n l?n dòng ch?y ch?y qua kênh chuy?n l?u, trong ?ó m?t ph?n r?t nh? ?i vào ?ng thép mao d?n bên trong c?m bi?n. Do c?u trúc ??c bi?t c?a kênh chuy?n l?u, hai ph?n l?u l??ng khí này có th? ??t ???c m?i quan h? t? l? d??ng. C?m bi?n ???c làm nóng tr??c, nhi?t ?? bên trong cao h?n nhi?t ?? dòng kh?ng khí ?i vào, t?i th?i ?i?m này, m?t ph?n nh? c?a l?u l??ng khí ???c ?o b?ng nguyên t?c truy?n nhi?t ?ng mao d?n và ph??ng pháp nhi?t l??ng chênh l?ch nhi?t ??. L?u l??ng khí ?o b?ng ph??ng pháp này có th? b? qua ?nh h??ng c?a nhi?t ?? và áp su?t, ??a tín hi?u phát hi?n l?u l??ng ?o ???c c?a c?m bi?n vào b?ng m?ch, sau khi khu?ch ??i ??u ra, ch?c n?ng c?a MFM ?? hoàn thành. B?ng m?ch ???c thêm vào ch?c n?ng ?i?u khi?n t? ??ng vòng kín PID, c?m bi?n ?o ???c tín hi?u phát hi?n dòng ch?y so v?i tín hi?u cài ??t do ng??i dùng ??a ra, ?ay là van ?i?u khi?n c? b?n, ?? tín hi?u phát hi?n dòng ch?y và tín hi?u cài ??t b?ng nhau, do ?ó, ch?c n?ng MFC ???c th?c hi?n.