1. ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i là gì? Quality Flow Controller là gì?

??ng h? ?o l?u l??ng kh?i, Mass Flow Meter (vi?t t?t MFM), là m?t thi?t b? ?o l?u l??ng khí chính xác v?i các phép ?o kh?ng b? thay ??i do bi?n ??ng nhi?t ?? ho?c áp su?t và kh?ng yêu c?u b?i th??ng áp su?t nhi?t ??.

B? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i, t?c là Mass Flow Controller (vi?t t?t MFC), kh?ng ch? có ch?c n?ng ?o l?u l??ng kh?i, mà quan tr?ng h?n, nó có th? t? ??ng ?i?u khi?n l?u l??ng khí, t?c là ng??i dùng có th? ??t l?u l??ng theo yêu c?u, MFC t? ??ng gi? l?u l??ng kh?ng ??i trên giá tr? cài ??t, ngay c? khi áp su?t h? th?ng dao ??ng ho?c nhi?t ?? m?i tr??ng thay ??i, nó s? kh?ng làm cho nó l?ch kh?i giá tr? cài ??t. Nói m?t cách ??n gi?n, b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i là m?t thi?t b? ?n ??nh dòng ch?y, m?t thi?t b? ?n ??nh dòng khí có th? ???c thi?t l?p b?ng tay ho?c k?t n?i v?i máy tính ?? ?i?u khi?n t? ??ng.

2. Nguyên t?c c?a b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng là gì?

B? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i bao g?m các b? ph?n nh? c?m bi?n l?u l??ng, kênh chuy?n l?u, van ?i?u ch?nh l?u l??ng và b? ?i?u khi?n khu?ch ??i. C?m bi?n l?u l??ng khí ?o l?u l??ng kh?i c?a khí (kh?ng c?n bù áp su?t nhi?t ??) b?ng cách s? d?ng nguyên t?c ph??ng pháp nhi?t l??ng chênh l?ch nhi?t ?? truy?n mao m?ch. Tín hi?u dòng ch?y ?o ???c b?ng c?u s??i ?m c?m bi?n ???c g?i vào b? khu?ch ??i, ?i?n áp phát hi?n dòng ch?y ???c khu?ch ??i và ?i?n áp cài ??t ?? so sánh, sau ?ó tín hi?u chênh l?ch ???c khu?ch ??i ?? ki?m soát van ?i?u ch?nh, vòng kín ki?m soát dòng ch?y qua kênh ?? làm cho nó b?ng v?i dòng ch?y ???c thi?t l?p. M?t splitter xác ??nh dòng ch?y c?a kênh chính. B? hi?n th? l?u l??ng phù h?p v?i b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng ???c thi?t l?p v?i ngu?n ?i?n ?n ??nh, ??ng h? ?o ?i?n áp k? thu?t s?, thi?t l?p chi?t áp, thi?t b? ngo?i vi, chuy?n ??i thi?t b? bên trong và c?ng t?c ?i?u khi?n van ba v? trí, v.v.

3. Trong tr??ng h?p nào v?i ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i và trong tr??ng h?p nào v?i b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i?

Nói chung, khi ch? ?o ho?c giám sát dòng ch?y, v?i ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i; Khi c?n ki?m soát l?u l??ng, h?y s? d?ng b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng. Trong m?t s? tr??ng h?p ?o l??ng, c? hai ??u có th?, ch?ng h?n nh? ?o l??ng kh? n?ng l?u th?ng c?a mao m?ch, khi ?o dòng ch?y áp su?t c? ??nh, s? d?ng ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i; Khi ?o áp su?t dòng c? ??nh, c?n ph?i s? d?ng b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i. L?u y r?ng khi b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i ? tr?ng thái làm s?ch, nó c?ng có th? ???c s? d?ng khi ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i, nh?ng áp su?t kh?ng khí gi?m l?n h?n m?t chút so v?i ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i th?ng th??ng.

4. Nh?ng ?u ?i?m chính c?a ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i/b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i là gì?

(1) ?o và ki?m soát dòng ch?y kh?ng b? m?t do bi?n ??ng nhi?t ?? ho?c áp su?t.

??i v?i h?u h?t các h? th?ng ?o l?u l??ng, r?t khó ?? tránh bi?n ??ng áp su?t c?a h? th?ng và thay ??i nhi?t ?? m?i tr??ng và m?i tr??ng. ??i v?i ??ng h? ?o l?u l??ng th?ng th??ng, bi?n ??ng áp su?t và nhi?t ?? s? d?n ??n l?i l?n; ??i v?i ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i/b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i, nó th??ng kh?ng ?áng k?.

(2) T? ??ng hóa ?i?u khi?n ?o l??ng

??ng h? ?o l?u l??ng kh?i/b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i có th? ?o l?u l??ng ?? ??u ra tín hi?u ?i?n tiêu chu?n. ?i?u này giúp d? dàng th?c hi?n hi?n th? k? thu?t s? l?u l??ng truy c?p, ?o l?u l??ng tích l?y t? ??ng, ghi d? li?u t? ??ng, qu?n ly máy tính, v.v. ???i v??i b?? ?iê?u khiê?n l?u th?ng cha?t l???ng ma? no?i, ba?n cu?ng co? thê? th??c hiê?n ?iê?u khiê?n t?? ???ng l?u th?ng. Th?ng th??ng, tín hi?u ??u vào và ??u ra MFC/MFM t??ng t? là 0~+5V ho?c 4~20mA, MFC/MFM k? thu?t s? c?ng ???c trang b? c?ng n?i ti?p k? thu?t s? RS232 ho?c RS485, có th? r?t d? dàng k?t n?i v?i máy tính ?? ?i?u khi?n t? ??ng.

(3) Ki?m soát dòng ch?y ??nh l??ng chính xác

B? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng có th? ki?m soát chính xác l??ng khí, ??c bi?t h?u ích cho nhi?u quy trình c?ng ngh? ?? ki?m soát dòng ch?y, ki?m soát t? l? các lo?i khí khác nhau, v.v.

(4) Ph?m vi áp d?ng r?ng

Có m?t ph?m vi áp su?t làm vi?c r?ng, s?n ph?m c?a chúng t?i có th? ?i t? chan kh?ng ??n 10MPa; Có th? phù h?p v?i nhi?u lo?i khí trung bình (bao g?m m?t s? khí ?n mòn nh? HCL); Có m?t ph?m vi dòng ch?y r?ng, ph?m vi dòng ch?y t?i thi?u c?a s?n ph?m c?a chúng t?i có th? ??t 0~5 sccm, * ph?m vi dòng ch?y có th? ??t 0~200 slm. ?? phan gi?i c?a màn hình l?u l??ng có th? ??t 0,1% toàn b? ph?m vi, ph?m vi ki?m soát l?u l??ng là 2~100% toàn b? ph?m vi (t? l? ph?m vi là - 50: 1), vì v?y nó ???c s? d?ng r?ng r?i trong nhi?u l?nh v?c.

5. Nh??c ?i?m c?a ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i là gì? ?i?u gì ?áng s? nh?t khi s? d?ng b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng?

??i v?i l?u l??ng k? cánh qu?t t??ng ??i r?, khuy?t ?i?m chính c?a l?u l??ng k? ch?t l??ng là giá c? khá ??t.

S? d?ng b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng có b?n n?i s?:

* S? b?i, n?u b?i ?i vào ??ng h? ?o l?u l??ng s? làm t?c ngh?n c?m bi?n và b? chia, gay ra l?i ?o l??ng, yêu c?u l?p ??t b? l?c tr??c c?a hút gió;

Th? hai s? ch?t l?ng và d?u b?n vào MFC, s? gay ra m?t ki?m soát, n?u ??u ra c?a MFC ???c n?i v?i b? ch?a ch?t l?ng, c?n ph?i có van m?t chi?u trong ??u ra MFC ?? ng?n ch?n dòng ch?y tr? l?i c?a ch?t l?ng;

Th? ba s? s? d?ng khí ?n mòn ?m ??t, khí ?n mòn ?m ??t s? làm cho thép kh?ng g? r? sét, gay ra thi?t h?i kênh MFC, do ?ó, yêu c?u tr??c khi s? d?ng khí ?n mòn, khí và h? th?ng ???ng ?ng MFC ph?i ???c x? ly kh?;

Th? t?, s? trong vi?c s? d?ng các khí ??c h?i nh? ?n mòn m?nh, d? cháy và n?, ??c h?i kh?ng ho?t ??ng theo các quy t?c an toàn, có th? gay ra thi?t h?i s?n ph?m và t?n th?t nghiêm tr?ng h?n khác. S? d?ng ?úng cách, ho?t ??ng an toàn và quan tr?ng nh?t ??i v?i m?i ng??i dùng.

6. Ph?m vi chênh l?ch áp su?t làm vi?c c?a b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i là khái ni?m gì?

B? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i (MFC) ???c thi?t l?p v?i m?t van ?i?u ch?nh l?u l??ng khí, van có th? làm cho dòng ch?y th?ng qua b? ?i?u khi?n t? 0 ??n ?o toàn b? ph?m vi, trong quá trình làm vi?c, gi?a ??u vào và ??u ra c?a b? ?i?u khi?n s? t?o ra m?t s? gi?m áp su?t kh?ng khí, t?c là chênh l?ch áp su?t. Ph?m vi chênh l?ch áp su?t làm vi?c c?a MFC th??ng là 0,1~0,3 MPa, n?u chênh l?ch áp su?t th?p h?n giá tr? * (0,1 MPa), có th? ki?m soát kh?ng ??t ???c giá tr? ph?m vi ??y ??; N?u cao h?n giá tr? * (0.3MPa), có th? l?u l??ng kh?ng ???c nh? h?n 2% FS khi t?t. Khi ng??i dùng s? d?ng MFC, b?t k? bu?ng ph?n ?ng làm vi?c c?a ng??i dùng là chan kh?ng hay áp su?t cao, nên gi? chênh l?ch áp su?t ? c? hai ??u c?a MFC trong ph?m vi chênh l?ch áp su?t yêu c?u và yêu c?u áp su?t kh?ng khí t??ng ??i ?n ??nh.

7. Làm th? nào ?? b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng ???c s? d?ng trong ?i?u ki?n áp su?t cao?

Ph?m vi chênh l?ch áp su?t làm vi?c c?a b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng th??ng t??ng ??i nh?, ?? s? d?ng bình th??ng trong ?i?u ki?n áp su?t cao c?n ??c bi?t chú y ??n ba ?i?m: *, là ?? ch?n MFC ch?u áp l?c phù h?p v?i yêu c?u; Th? hai, ch?n các m? hình s?n ph?m có ph?m vi chênh l?ch áp su?t làm vi?c l?n; Th? ba, ?? thêm van gi?m áp ? phía tr??c ???ng d?n khí MFC, ?n ??nh áp su?t kh?ng khí ??u vào, thêm van áp su?t ng??c ? h? l?u MFC, ?n ??nh áp su?t kh?ng khí c?a bu?ng ph?n ?ng và ??u ra MFC, ?i?u ch?nh thích h?p van gi?m áp và van áp su?t ng??c, ?? ??m b?o chênh l?ch áp su?t làm vi?c c?a MFC s? kh?ng v??t quá ph?m vi quy ??nh. Ch? v?i ba ?i?m trên, MFC có th? ho?t ??ng ?n ??nh trong ?i?u ki?n áp su?t cao.

8. S? d?ng h?i bay h?i l?ng d? bay h?i, áp su?t kh?ng khí r?t th?p, làm th? nào ?? tùy ch?nh các s?n ph?m gi?m áp su?t th?p c?a b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng?

M?t s? ng??i dùng s? d?ng h?i bay h?i l?ng d? bay h?i ?? làm ngu?n kh?ng khí (nh? v?i acetone, v.v.), áp su?t kh?ng khí r?t th?p, v?i MFC th?ng th??ng, kh?ng th? ho?t ??ng bình th??ng. Lúc này ng??i dùng c?n ph?i tuyên b? ??c bi?t v?i nhà cung c?p, tùy ch?nh b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng gi?m áp su?t th?p. Th?ng th??ng có th? tùy ch?nh MFC v?i chênh l?ch áp su?t làm vi?c d??i 0,01MPa, khi ?ó ph?m vi chênh l?ch áp su?t làm vi?c c?a MFC c?ng s? nh? h?n.

L?u y r?ng khi s? d?ng h?i bay h?i l?ng d? bay h?i, kh?ng th? ?? các ch?t b?c h?i k?t t?a trong MFC, ?i?u này s? ?nh h??ng ??n ho?t ??ng bình th??ng c?a MFC. ?? ng?n ng?a s??ng mù, ???ng ?ng và MFC có th? ???c làm nóng ?úng cách, nh?ng nhi?t ?? m?i tr??ng làm vi?c c?a MFC th??ng kh?ng v??t quá 50 ° C. N?u ng??i dùng mu?n nhi?t ?? m?i tr??ng làm vi?c c?a MFC v??t quá 65 ℃, c?n mua ??c bi?t các s?n ph?m MFC nhi?t ?? cao.

9. B? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng có th? ???c s? d?ng ?? ki?m soát khí ?n mòn và khí ??c bi?t kh?ng? Làm th? nào ?? ch?n v?t li?u niêm phong?

B? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng có th? ???c s? d?ng ?? ki?m soát các lo?i khí khác nhau, bao g?m c? khí ?n mòn và khí ??c bi?t, nh?ng l?u y r?ng ??i v?i vi?c s? d?ng khí ?n mòn và khí ??c bi?t, c?n ph?i ch?n ?úng m? hình và v?t li?u niêm phong. Khi ??t hàng, ng??i dùng c?n ph?i tuyên b? ??c bi?t cho nhà cung c?p v? vi?c s? d?ng khí, ?? tránh t?n th?t nghiêm tr?ng do l?a ch?n lo?i ho?c ch?n sai v?t li?u niêm phong.

Th?ng th??ng các v?t li?u ??t c?a b? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng khí ti?p xúc v?i khí làm vi?c là thép kh?ng g? 316L, PTFE và v?t li?u niêm phong, v.v., v?t li?u niêm phong ???c chia thành hai lo?i chính là niêm phong kim lo?i và niêm phong cao su. V?t li?u c?a con d?u kim lo?i th??ng là v?t li?u ch?ng ?n mòn nh? thép kh?ng g?, vàng ho?c niken. MFC v?i con d?u kim lo?i v? nguyên t?c có th? ???c s? d?ng cho b?t k? lo?i khí nào, bao g?m nhi?u lo?i khí ?n mòn và khí ??c bi?t. ??i v?i các khí ?n mòn m?nh nh? boron tribromide, boron trichloride, hydro florua và khí oxit kim lo?i ???c s? d?ng b?i MOCVD ???c khuy?n ngh? * MFC v?i con d?u kim lo?i.

Do giá MFC c?a con d?u kim lo?i cao h?n, th??ng kh?ng ?òi h?i nhi?u d?p, MFC c?a con d?u cao su ???c s? d?ng. N?u kh?ng có tuyên b? c? th?, MFC ??u ???c niêm phong b?ng cao su flo và có th? ???c s? d?ng trong h?u h?t các khí ?n mòn có tính axit và ki?m, ch?ng h?n nh? khí kh? halogen nh? hydro clorua. M?t s? khí ?n mòn ??c bi?t khác, c?n s? d?ng cao su ??c bi?t. Khí amoniac - c?n ph?i s? d?ng cao su ch?ng amoniac, ch?ng h?n nh? cao su EPDM, cao su Neoprene ho?c cao su Ting Qing; Kh?ng khí dung m?i h?u c? (acetone, toluene, vv) - c?n s? d?ng cao su silicon; Boron tribromide, boron trichloride, hydro florua, v.v. - cao su perfluoride là c?n thi?t.

10. C?n chú y gì khi l?a ch?n s?n ph?m và ??t hàng?

?iê?m na?y liên quan ?ê?n l??i i?ch thiê?t th??c cu?a ng???i s?? du?ng, va?n ?ê? liên quan cu?ng t??ng ???i nhiê?u, vi? va?y chu?ng t?i c?? g??ng tra? l??i m??t ca?ch kha?ch quan va? t???ng ta?n.

(1) Chú y ch?n ?úng th??ng hi?u

Nói chung, các nhà s?n xu?t nên ?o l??ng toàn di?n các y?u t? nh? ch?t l??ng s?n ph?m, giá bán, d?ch v? sau bán hàng, trình ?? k? thu?t, ??c ?i?m s?n ph?m, quy m? s?n xu?t và uy tín c?a doanh nghi?p.

(2) Chú y ch?n ph?m vi chính xác

A. Chuy?n ??i l?u l??ng b?n c?n sang l?u l??ng ? tr?ng thái tiêu chu?n (l?u l??ng ch?t l??ng).

B. Theo b?ng h? s? chuy?n ??i l?u l??ng kh?i do nhà s?n xu?t cung c?p, giá tr? l?u l??ng kh?i c?a khí b?n ???c chuy?n ??i thành giá tr? l?u l??ng kh?i t??ng ???ng v?i nit? (khí ??nh danh). N?u b?n mu?n ???c ?ánh d?u b?ng khí b?n th?c s? s? d?ng, vui lòng gi?i thích cho nhà s?n xu?t. Ca?c va?n ?ê? liên quan ?ê?n hê? s?? chuyê?n ???i l?u l???ng cha?t l???ng, sau ?ay co?n co? cau tra? l??i tiê?p theo.

C. Xác ??nh ph?m vi tiêu chu?n c?n thi?t. Các nhà s?n xu?t th??ng có các th?ng s? k? thu?t khác nhau c?a ph?m vi tiêu chu?n, giá tr? l?u l??ng * b?n th?c s? s? d?ng ph?i th?p h?n m?t giá tr? ph?m vi tiêu chu?n nh?t ??nh. L?a ch?n ph?m vi tiêu chu?n ph?i tránh quá l?n ho?c quá nh?. Ch? s? l?i c?a l?u l??ng ch?t l??ng ???c quy ??nh theo t? l? ph?n tr?m c?a giá tr? ph?m vi ??y ??, n?u l?u l??ng th?c t? nh? và giá tr? ph?m vi ???c ch?n quá l?n, l?i t??ng ??i c?a giá tr? ?o là l?n.

(3) Chú y ch?n ch? s? áp su?t làm vi?c phù h?p

Ch? s? áp su?t làm vi?c c?a các s?n ph?m khác nhau có th? khác nhau, chú y ch?n s?n ph?m phù h?p v?i mình.

B? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i (MFC) Ngoài * áp su?t làm vi?c, có m?t ch? s? áp su?t làm vi?c khác: chênh l?ch áp su?t làm vi?c, t?c là chênh l?ch áp su?t gi?a ??u vào và ??u ra c?a MFC, h?y chú y khi ch?n lo?i và khi s? d?ng.

(4) Chú y ch?n ch? s? chính xác phù h?p

?? chính xác, tuy?n tính, ?? chính xác l?p l?i là m?t s? ch? s? quan tr?ng h?n, trong ?ó ?? chính xác l?p l?i ??c bi?t quan tr?ng trong nhi?u tr??ng h?p ?ng d?ng. Ch? tiêu kh?ng nh?t thi?t ph?i theo ?u?i *, nên can nh?c nhu c?u th?c t? c?a mình.

Nê?u kh?ng yên tam vê? chi? tiêu nha? ma?y ??a ra, ng???i s?? du?ng co? ?iê?u kiê?n cu?ng co? thê? t?? mi?nh ?a?nh da?u m??t chu?t. Ca?c ph??ng pha?p ?a?nh da?u xem nh??ng n??i dung liên quan d???i ?ay.

(5) Chú y ch?n ch? s? th?i gian ?áp ?ng thích h?p

M?t s? h? th?ng ?ng d?ng có yêu c?u cao v? th?i gian ?áp ?ng c?a MFC mà ng??i dùng nên xem xét theo tình hu?ng c?a h?. Trong khi xem xét các ch? s? th?i gian ph?n h?i, b?n c?ng nên chú y ??n quá trình ph?n h?i và các ??c tính ??ng c?a chúng.

(6) Chú y n?u có yêu c?u v? v? trí l?p ??t

M?t s? nhà s?n xu?t yêu c?u s?n ph?m ph?i ???c cài ??t ? v? trí ngang.

(7) Chú y ??n vi?c s? d?ng khí và ph?m vi áp d?ng

MFM/MFC có ph?m vi áp d?ng nh?t ??nh ??i v?i m?i tr??ng s? d?ng và nhi?t ?? m?i tr??ng, áp su?t ngu?n kh?ng khí, m?i tr??ng (??c bi?t là vi?c s? d?ng khí ?n mòn), v.v., xin vui lòng ??c h??ng d?n ho?c t? v?n v?i nhà s?n xu?t.

(8) Chú y ??n hình th?c chung

Th??ng có hai lo?i ??u n?i là Swagelok và VCR, k?t n?i VCR ho?t ??ng t?t h?n cho các ?ng d?ng cao c?p.

(9) ??t hàng ph?i ghi r?:

Tên s?n ph?m, m? hình, th?ng s? k? thu?t dòng ch?y, khí ??nh danh, khí s? d?ng (??c bi?t là khí ?n mòn), hình th?c kh?p và s? l??ng.

Khi mua ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i/b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i, b?n có c?n mua các s?n ph?m h? tr? khác kh?ng?

Th?ng th??ng c?n thi?t b? hi?n th? l?u l??ng ?? s? d?ng ??ng b?. B? hi?n th? l?u l??ng cung c?p ngu?n ho?t ??ng cho MFM/MFC, th?c hi?n hi?n th? l?u l??ng và th?c hi?n các ho?t ??ng thi?t l?p l?u l??ng trên MFC. N?u MFM/MFC ???c k?t n?i tr?c ti?p v?i h? th?ng ?o l??ng và ?i?u khi?n máy tính, nó c?ng có th? kh?ng phù h?p v?i màn hình l?u l??ng.

Ngoài ra, theo nhu c?u c?a h? th?ng, b?n có th? ch?n van c?u, b? l?c, máy s?y, van m?t chi?u, kh?p ?ng, gi?m áp su?t, van áp su?t ng??c, v.v.