1, ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i l??ng, khái ni?m b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i

??ng h? ?o l?u l??ng kh?i, Mass Flow Meter (MFM), là m?t thi?t b? ?o l?u l??ng khí chính xác v?i các phép ?o kh?ng b? thay ??i do bi?n ??ng nhi?t ?? ho?c áp su?t và kh?ng yêu c?u b?i th??ng áp su?t nhi?t ??.

B? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i, t?c là Mass Flow Controller (MFC), kh?ng ch? có ch?c n?ng ?o l?u l??ng kh?i, mà quan tr?ng h?n, nó có th? t? ??ng ?i?u khi?n l?u l??ng khí, t?c là ng??i dùng có th? thi?t l?p l?u l??ng theo yêu c?u, MFC t? ??ng liên t?c l?u l??ng trên giá tr? cài ??t, ngay c? khi áp su?t h? th?ng dao ??ng ho?c nhi?t ?? m?i tr??ng thay ??i, nó s? kh?ng làm cho nó l?ch kh?i giá tr? cài ??t. B? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i là m?t thi?t b? ?n ??nh dòng ch?y, m?t thi?t b? ?n ??nh dòng khí có th? ???c thi?t l?p b?ng tay ho?c k?t n?i v?i máy tính ?? ?i?u khi?n t? ??ng.

Nói m?t cách ??n gi?n, ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i l??ng ch? ?o kh?ng ???c ki?m soát. Và b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i, sau ?ó v?i van ?i?u khi?n, c? hai có th? ?o và ki?m soát kích th??c l?u l??ng khí.

2, ??ng h? ?o l?u l??ng kh?i l??ng, ??n v? l?u l??ng c?a b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i

??n v? l?u l??ng khí th??ng ???c bi?u th? b?ng SCCM (Standard Cubic Center per Minute) và SLM (Standard Liter per Minute). ?i?u này có ngh?a là trong các ?i?u ki?n s? d?ng khác nhau, l?u l??ng ???c ch? ra là l?u l??ng ? tr?ng thái tiêu chu?n. ?ay là s? khác bi?t quan tr?ng gi?a ??ng h? ?o này và các ??ng h? ?o l?u l??ng khác, c?ng là n?i SCCM, SLM khác v?i Ml/phút, L/phút.

N?u b?n c?n kh?i l??ng ch?y qua m?t ??n v? th?i gian (ch?ng h?n nh? g/phút), b?n có th? tham kh?o m?t ?? khí ? tr?ng thái tiêu chu?n và nhan nó.

B5-03=giá tr? th?ng s? Ki, (cài 3)

(1) ?o tr?c ti?p l?u l??ng kh?i l??ng c?a khí

??ng h? ?o l?u l??ng kh?i nhi?t tr?c ti?p ?o l?u l??ng kh?i ch?t l?ng, ??u ra tín hi?u l?u l??ng kh?i, kh?ng c?n thi?t b? khác, ch?ng h?n nh? máy ?o nhi?t ?? và máy ?o áp su?t, c?ng kh?ng c?n chuy?n ??i.

(2) Kh?ng có ph?n di chuy?n

B?n than nó kh?ng có b? ph?n chuy?n ??ng t??ng t? nh? tr?c quay, t?ng thêm ?? tin c?y c?a b?n than, kh?ng c?n b?o trì máy móc.

(3) L?u l??ng nh? có th? ???c ?o chính xác, s? d?ng thi?t b? phan lu?ng, nh?ng c?ng có th? ?o l?u l??ng l?n, và nhi?t ??, ph?m vi áp su?t là r?t l?n.

(4) T? ??ng hóa ?i?u khi?n ?o l??ng

??ng h? ?o l?u l??ng kh?i/b? ?i?u khi?n l?u l??ng kh?i có th? ?o l?u l??ng ?? ??u ra tín hi?u ?i?n tiêu chu?n. ?i?u này r?t d? dàng ?? th?c hi?n hi?n th? k? thu?t s? l?u l??ng, ?o l?u l??ng t? ??ng, ghi d? li?u t? ??ng, qu?n ly máy tính, v.v. ???i v??i b?? ?iê?u khiê?n l?u th?ng cha?t l???ng ma? no?i, ba?n cu?ng co? thê? th??c hiê?n ?iê?u khiê?n t?? ???ng l?u th?ng. Th?ng th??ng? Tín hi?u ??u vào và ??u ra MFC/MFM t??ng t? là 0~5V ho?c 4~20mA. MFC/MFM k? thu?t s? c?ng ?i kèm v?i c?ng n?i ti?p k? thu?t s? RS232 ho?c RS485. D? dàng k?t n?i v?i máy tính? Ti?n hành ?i?u khi?n t? ??ng.

(5) Ki?m soát dòng ch?y ??nh l??ng chính xác

B? ?i?u khi?n l?u l??ng ch?t l??ng có th? ki?m soát chính xác l??ng khí cho ?n, ?i?u này ??i v?i nhi?u quy trình c?ng ngh? ?? ki?m soát dòng ch?y, ???c s? d?ng ?? ki?m soát t? l? các lo?i khí khác nhau, v.v.

(6) ?? chính xác cao và ?? l?p l?i t?t

?? chính xác lên ??n ± 1% FS (full scale) L?p l?i ± 0,25% FS (full scale)

(7) Kích th??c nh?, cài ??t d? dàng, ho?t ??ng ??n gi?n

(8) C?ng ngh? tiên ti?n, phù h?p v?i xu h??ng phát tri?n