一定范圍內影響基本可以忽略不計，溫度±5左右，壓力2-3MPA左右流量偏差都在精度范圍內。溫度變化范圍過大無法避免流量產生偏差。

熱式和層流適用領域不同，熱式優點是耐高壓，抗腐蝕，性價比高，缺點是反應速度慢一些，因為有熱傳導的過程，氣源必須是高純氣體，怕水，油污，雜質，芯片式也屬于熱式，不耐高壓，不能通腐蝕性氣體。

分辨率為千分之一。

生產中所使用的校準器是體積流量計，所以常用的單位都是體積單位，標定完成后也可換算后設為kg/h等單位。

確保產品供電正常的狀態下通過PLC和產品之間的連接線提供電壓或者電流信號，MFC通過設定+反饋行成閉環控制，MFM只采集輸出信號即可。